天眼查显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司“热处理设备加热组件”专利公布，申请公布日为2025年3月21日，申请公布号为CN119673811A。
本公开实施例提供一种热处理设备加热组件，其中，加热组件包括：灯座，灯座包括第一加热区和第二加热区，第一加热区被第二加热区环绕包围；第一加热灯，多个第一加热灯设置于第一加热区中；第二加热灯，多个第二加热灯设置于第二加热区中；其中，第一加热灯为圆形灯，第二加热灯为线型灯。本公开实施例的技术方案可以通过两种加热灯对晶圆进行热处理，提升了热功率的可调性；通过第二加热灯对晶圆的边缘部分进行加热补温，能够有效降低基板不同区域的温度梯度，优化提升温度均匀性及成膜均匀性；第二加热区设置在第一加热区的周围，减少了热重叠区域，便于设备的安装，调试和维护。
