8月28日晚，中微公司发布2025年半年度报告，显示公司在上半年实现营业收入49.61亿元，同比增长43.88%；归母净利润7.06亿元，同比增长36.62%。
报告期内，中微公司的研发投入达14.92亿元，同比大幅增长53.7%，研发费用占营收比重突破30%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司主打设备——等离子体刻蚀设备，上半年销售额达37.81亿元，同比增长40.1%，市场占有率持续提升，技术能力已延伸至5纳米及更先进制程。
在薄膜沉积设备方面，中微公司LPCVD和ALD设备销售收入同比增长608.2%，成为业绩增长的新引擎。公司开发的金属栅系列产品已完成多个先进逻辑客户设备验证，性能达到世界先进水平。
此外，中微公司积极拓展泛半导体市场，其MOCVD设备在氮化镓基LED市场持续领先，并逐步拓展至碳化硅、氮化镓功率器件及Micro-LED等新兴领域。今年，公司已付运首台红黄光LED专用的MOCVD设备至国内领先客户开展生产验证。
