近日，至纯科技旗下主营电子大宗气体的子公司上海至纯精密气体有限公司（简称“至纯精密气体”）完成首轮数亿元对外融资的工商变更。该轮融资由金桥资本旗下盛盎投资管理的上海浦东智能制造基金领投。
公开资料显示，至纯精密气体成立于2021年，专注于高纯工艺气体和电子级大宗气体业务。2022年初，由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的12英寸晶圆大宗气体供应工厂指标完全达标，成功打破半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现该制程节点国内自主大宗气站零的突破。第二座更大规模的气站也在2024年初步建成，并成功为客户供气，进入运营阶段。
电子特气是半导体制造中的关键材料，对芯片性能和良率有直接影响，是半导体制造的第二大耗材，占比约14%。2025年，中国电子特气市场规模近300亿，且保持每年10%的增长。（校对/赵月）
