北方华创、中微半导体、盛美上海、华海清科、拓荆科技……半导体设备企业齐聚9月深圳！

展位号：13E68

中微半导体设备(上海)股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。通过向全球领先的半导体和LED芯片制造商提供具有竞争力的高端设备和高质量的服务，中微为客户的技术水平提升、生产效率提高、生产成本降低和竞争力增强做出了重要贡献。中微跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域。中微的集成电路制造设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的芯片加工制造及先进封装，中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场具有优势。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

展位号：13E12

盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立于2005年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业，集研发、设计、制造、销售于一体，为全球客户提供高端半导体前道工艺设备和先进封装设备。主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备、PECVD设备，以及晶圆级与面板级封装设备等。

华海清科股份有限公司

展位号：13F08

华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备制造商，公司主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务，打造“装备+服务”的平台化战略布局。 核心团队成员来自半导体行业专业人才，公司主要产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺。

拓荆科技股份有限公司

展位号：13D19

拓荆科技股份有限公司成立于2010年4月，是国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司多次获评中国半导体行业协会授予的“中国半导体设备五强企业”称号。公司在北京、上海、海宁、沈阳和美国及日本成立子公司。 公司主要产品包括PECVD设备、ALD设备、SACVD设备、HDPCVD设备、Flowable CVD设备和先进键合设备以及相关量测设备等系列，拥有自主知识产权，技术指标达到国际同类产品的先进水平。产品主要应用于集成电路晶圆制造、 先进存储和先进封装、HBM、MEMS、Micro-LED 和 Micro-OLED 显示等高端技术领域。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

展位号：13F28

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（证券简称“芯源微”，证券代码“688037”）成立于2002年，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务。 芯源微获得专利授权三百多项，自主开发了前段涂胶显影机、化学清洗机、物理清洗机，后段涂胶显影机、去胶机、湿法刻蚀机、清洗机、键合解键合机等产品，广泛应用于IC、WLCSP、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、化合物半导体等领域，可满足28nm及以下前段工艺制程及高密度先进封装工艺制程。 芯源微服务的客户覆盖上海、北京、江苏、浙江、安徽、福建、广东、台湾、韩国、马来西亚等国家和地区，累计出货量达2500台套。

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

展位号：13D50

北京京仪自动化装备技术股份有限公司，是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，主要产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、晶圆传片设备(Sorter/EFEM)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。2023年11月29日在上海证券交易所科创板上市，股票简称为京仪装备，股票代码为688652。

深圳中科飞测科技股份有限公司

展位号：16F20

深圳中科飞测成立于2014年，公司始终坚持自主研发和自主创新的原则，依托多年在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的深耕积累和自主创新，公司得以向集成电路前道制程、先进封装等企业以及相关设备、材料厂商提供关键质量控制设备。 质量控制设备是芯片制造的核心设备之一，公司检测和量测设备能够对上述领域企业的生产过程进行全面质量控制和工艺检测，助推客户提升工艺技术，提高良品率，实现降本增效的目标。

苏州天准科技股份有限公司

展位号：13E66

天准公司成立于2005 年，总部位于中国苏州。2019 年7 月22 日，天准在科创板正式挂牌上市，股票代码：688003。 天准，卓越视觉装备平台企业，致力以人工智能技术推动工业数智化发展！天准专注服务电子、半导体、新汽车等工业领域，提供业界领先的高端视觉装备产品，以人工智能成就现代工业之美。 天准在电子领域，作为全球视觉装备核心供应商，提供高端视觉测量、检测、制程装备。在半导体领域，深度布局前道量检测，提供纳米级晶圆缺陷检测、套刻与关键尺寸测量等核心制程控制装备。在新汽车和机器人领域，提供高阶自动驾驶方案、通用智能方案及智能装备等产品。

北京华卓精科科技股份有限公司

展位号：13E100

北京华卓精科科技股份有限公司主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件，主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线，并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。

上海芯上微装科技股份有限公司

展位号：16F01

上海芯上微装科技股份有限公司（英文名称：AMIES Technology Co., Ltd.）成立于2025年2月，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。 公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。 公司技术团队约600人，平均年龄33岁，65%为硕士博士学历；拥有上海市劳动模范、上海市优秀技术带头人、上海市青年科技启明星计划、上海市产业菁英领军人才，以及浦东明珠计划人才/工程师等高层次人才十数人。

御微半导体

展位号：13E20

御微半导体是一家以技术和市场双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的高新技术企业。面向集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。 公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与集成，围绕集成电路装备自主化，通过对七大核心技术的研发创新，四大重点实验室的成果转化，已经在芯片制造、掩模版制造、晶圆衬底制造和基板制造四大应用领域成功推出了具有自主知识产权的十余款量检测设备，并已持续服务于国际知名集成电路厂商。

上海微崇半导体设备有限公司

展位号：13E08

上海微崇半导体设备有限公司成立于2021年3月，是一家专注于高端创新半导体量检测设备的公司，位于上海市杨浦区长阳创谷园区长阳路1687号1120幢113室。由领先的海归半导体设备技术团队发起与中国资深工程师和科学家团队共同建立，目前已自研二谐波晶圆检测设备ASPIRER3000、离子注入量测设备BRAVERY3000、CLARITY 1000/3000 等多款设备，致力于成为世界先进的半导体量检测设备平台型公司。

日联科技

展位号：16E20

日联科技（股票代码：688531）是中国工业X射线智能检测领域的龙头企业、国家级专精特新“小巨人”企业及科创板上市公司，被誉为“工业医生”。公司专注于工业X射线检测装备及核心部件X射线源的研发、生产与销售，其产品广泛应用于全球高端制造业的产品质量检测。 公司总部位于无锡国家高新区，在无锡、深圳、重庆设有三大国内生产基地，并在马来西亚建立了境外工厂。同时，依托新加坡、匈牙利、美国等具备研发与制造能力的海外子公司，构建了强大的全球运营与服务网络。日联科技拥有员工1000余人，设立两个研发中心及一个研究院，并在国内18个城市设有服务网点与办事处，产品已远销全球70余个国家及地区。

苏州恩腾半导体科技有限公司

展位号：16F72

苏州恩腾半导体科技有限公司，专业研发生产集成电路前道与后道，Sic，GaN等化合物的喷淋法、浸泡法的湿法刻蚀与清洗设备，专注于客户工艺难点问题的解决方案。核心技术团队来自韩国、台湾、日本等行业内资深专家团队，致力于中国本土化发展，打破国外垄断，从技术上填补中国国内空白。 恩腾半导体将一直秉持着敬业、精益、专注、创新的工匠精神在国产化替代与技术创新的道路上持续前行。

上银科技(中国)有限公司

展位号：14E62

上银科技以HIWIN自有品牌营销全球，专注于传动控制与系统科技的研发与制造，为全球第二大线性传动控制与系统科技的优质品牌。在全世界有13个子公司、孙公司、R&D中心实验室与超过300个经销体系。 2014年4月在大陆苏州成立了上银科技（中国）有限公司，厂区位于苏州工业园区夏庄路2号，占地面积为8万平方米。作为大陆营运总部，上银科技（中国）除负责销售外，还建设有仓储物流中心、精密机械加工中心、机器人加工中心和研发中心。

沈阳新松半导体设备有限公司

展位号：13C15

沈阳新松半导体设备有限公司成立于2023年，是一家专注于半导体晶圆传输专用设备的研发、生产、销售与技术服务的高新技术企业。公司前身为新松机器人自动化股份有限公司半导体装备事业部，核心团队经过近20年的技术沉淀与经验积累，打造了拥有完全自主知识产权的自动化核心系列产品，技术指标达到国际同类产品先进水平。公司在北京、上海分别成立北京新松半导体有限公司和上海新松朴智半导体设备有限公司，目前拥有300 余人的高水平技术研发团队，10000余平方米的洁净工厂，具有行业领先的产品开发及规模化生产交付能力。公司创新产品现已广泛运用于各种半导体工艺制程，为世界各地的半导体设备供应商提供高效和可靠的自动化解决。

山善（深圳）贸易有限公司

展位号：16F49

山善集团全球总部位于日本大阪，包含 “生产产品”与“消费品”2大核心业务。 自创立以来已有70余年历史，目前在全球12个国家和地区，拥有62个事务所。全球员工3200员工， 其中，约300人是高级工程师。 通过为客户提供满足需求的产品提案、专业的工程师服务以及健全的售后维护体系，我们得到了超过10000家企业用户的认可。山善进入中国市场30多年，在上海及深圳设立法人公司，全国有近20个分公司及事务所，在职员工400多名，技术人员100多名。深耕行业30余年，凭借丰富的产品与专业的技术服务，为客户提供一站式综合解决方案。致力于成为制造业领域优质的设备供应商与自动化方案集成商。

江苏容道社半导体设备科技有限公司

展位号：14F08

江苏容道社半导体设备科技有限公司总部坐落于江苏苏州吴江湖高新区园区，占地面积逾5000平方米。公司建有专业的黄光生产实验区及先进的半导体设备生产组装与测试车间，并拥有一支专业、独立自主的软件、硬件研发团队，持续推动技术创新与自我迭代。 容道社致力于打造自主可控、稳定可靠的国产高端半导体装备。凭借多项研发专利支撑，公司产品已成功通过客户现场验证，实现了晶圆上料、工艺传送、匀胶、光刻、显影、金属剥离去胶、刻蚀、清洗等全生产链条的流程化集成。可满足不同工艺等级客户需求。容道社坚持“诚信、务实、协同、分享、卓越”的核心价值观，做成为世界级先进半导体装备企业为目标，持续为产业发展贡献力量。

俐玛精密测量技术（苏州）有限公司

展位号：14F28

俐玛精测（Royma）是中国杰出的工业质量解决方案一站式提供商，无损检测行业的标杆企业。公司自主研发的X射线及高精度智能3D-CT检测设备，处于行业第一梯队，广泛应用于智能制造、高端制造领域，是新能源电池、汽车、半导体电子制造、航空航天、医疗器械、轨道交通等产业链各环节质量管控中不可缺少的无损检测设备。 公司总部位于苏州，拥有2大生产基地、4个研发中心以及分布全球的7大联络点，与各领域的全球知名工业品牌建立了深厚长期的合作关系，并开始向全球市场跃进，已成为美国、德国、韩国、印度等国家或地区检测市场的有力参与者。

三河建华高科有限责任公司

展位号：13K08

建华高科有限责任公司成立于2003年，地处北京东燕郊经济技术开发区海油大街253号。公司现有职工280余人，其中各类技术人员200余人，高级技术职称30余人。 公司以接近接触式光刻设备、匀胶显影设备、晶圆键合设备、探针测试设备、内圆切割设备及精密零部件制造为主体，以打造“中国半导体设备引领者”为目标，致力于半导体元器件材料加工、芯片制造及检测专用设备的研究开发与生产制造，倾力建设国家级高精密机械、光学、电气零部件制造中心。

湖南宇环精研科技有限公司

展位号：14F66

湖南宇环精研科技，是宇环数控（002903）2023年注册成立的全资子公司。依托宇环数控30年精密磨削抛光技术积累，聚焦半导体产业需求，组建30余人的研发团队，建成1500平米恒温恒湿研发车间与 5000平米高端机床生产车间。公司产品涵盖半导体数控研磨机床、立式单面磨床、磁流变抛光机床及新材料磨料磨具等，数控化率 100%，广泛用于半导体、航天航空、汽车工业等多行业。秉持“责任为本、创新为谋、发展为恒、奉献为荣”精神，以“成就尖端制造，振兴民族工业”为使命，矢志成为半导体加工设备领域引领者 。

同期会议&活动

展会同期将举办多场半导体相关会议，集中探讨集成电路产业的创新与发展，展示集成电路产业的技术与成果。覆盖半导体分析测试应用与设备、半导体制造核心设备、半导体装备及零部件制造、半导体装备国产化等热门话题。

其中半导体设备主题会议一览：

相关议题：