8月15日，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。市委书记杜小刚，中国工程院院士丁文江、庄松林、董绍明，中国科学院院士张泽共同出席出机仪式。新吴区主要负责同志，相关高校、企业、投资机构代表等参加活动。
电子束晶圆量检测设备是芯片制造领域除光刻机外，技术难度最大、重要程度最高的设备之一。
此次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，能有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题，对于填补我国集成电路产业关键环节空白、提高国产芯片高端装备自主可控水平具有里程碑意义。
在当天活动现场，亘芯悦科技、上海交通大学自动化与感知学院合作共建的电子光学AI平台联合实验室同步揭牌，双方将携手在技术创新、产业应用、科技人才培养等领域开展全面合作，通过贯通“理论突破—工艺验证—产线落地”全链条，为后续设备创新研发注入新动能。
活动前，市领导和嘉宾一同调研亘芯悦电子束量检测设备生产线，详细了解企业发展历程、人才团队、技术路径、核心设备等情况。
无锡亘芯悦科技有限公司是由中国科学院院士，中国工程院院士，经验丰富的工程技术专家，业界公司创办人共同发起成立的，是一家专注于研发、制造和生产半导体前道量测与检测设备的高科技公司。前道量测与检测设备是半导体新技术开发和半导体制造良率控制的至关重要的设备，亘芯悦研发涵盖物理学、数学、自动化、精密机械、计算机等多个领域，研发团队于2022年12月荣获了无锡市新吴区飞凤人才计划“创业顶尖人才团队”荣誉；2023年获得国家科学技术部颁布的“国家级科技人才计划创新领军人才”荣誉。亘芯悦在无锡新吴区微纳园内拥有1200多平的洁净室，以及先进的科研硬件设施，支撑技术及产品的研发，亘芯悦在半导体前道量测与检测技术研发上的提升与突破将助力中国半导体产业链的健康发展。（亘芯悦在上海市和无锡市分别有研发中心)
