天眼查显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司近日取得一项名为“一种载盘及镀膜设备”的专利，授权公告号为CN222631539U，授权公告日为2025年3月18日，申请日为2024年4月29日。
本申请公开了一种载盘和镀膜设备，属于量子芯片制造领域。用于承载芯片的载盘包括：本体、立柱以及支撑柱。其中立柱设置在本体，支撑柱可移除地配置到立柱的载孔内。该载盘可以用于在芯片制造过程中的镀膜操作阶段用于对芯片进行支撑，以保持镀膜后形成的器件的质量，并且避免镀膜过程中发生芯片的损伤的问题。
本源量子“一种载盘及镀膜设备”专利获授权
来源：爱集微
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