什么是EqFuse？
EqFuse设备智能系列，是智现未来专为半导体设备厂商打造的设备内置OEM智能化解决方案。方案凝聚了智现未来20余年的半导体工业软件积淀，深度融合腔室匹配（Chamber Matching）、故障监测与分类（FDC）及配方管理系统（RMS）等工程智能产品功能。并结合最优算法、大数据、大语言模型及AI技术，为设备配置“可对话、会思考、能优化”的智能脑，实现智能化故障诊断及预测、自我调优与智能制造，最大化设备价值和生产效率。
凭借卓越的性能表现，EqFuse已获得国产设备巨头的青睐并成功应用。
这些功能，让设备从“按部就班”变“智能生产”
① 腔室匹配（Chamber Matching）
腔室匹配（Chamber Matching）是EqFuse的核心功能，能帮助设备工程师快速分析设备/腔室（Chamber）之间差距，节约调机时间。
以薄膜沉积为例，芯片加工Layer往往达到百层之多，因设备和腔室的差异，无法确保工艺表现的一致性。传统方式依赖工程师经验和手动对比分析，寻找问题根因，通常要耗费数小时甚至数天时间。
薄膜沉积的非一致性
设备内置Chamber Matching腔室匹配功能，可实现全面自动化智能分析，大大缩短分析时间，重新定义智能设备解决方案：
腔室并行分析，不受个数限制。
基于成功验证的最优算法自动识别匹配“最佳腔室”，进行差异比对
Full Trace全参数对比分析
精确定位失配参数和具体失配Step
一键关联FDC验证：一键跳转FDC追溯详情分析页面，验证失配参数的匹配度结果。
② FDC 故障监测与分类——故障预警哨兵
实时监测生产过程中设备的运行状态，取代生产结束后检测，提前捕捉异常，精准定位问题源头，为排查问题、设备优化提供有力支撑。（点击了解FDC详细功能介绍）
③ RMS 工艺配方管理——配方安全堡垒
通过中央控制将配方与设备无缝对接，优化生产流程，大幅提升管理效率，实现智能化、高效化配方管理。
④ AI+RCA故障根因分析——故障定位雷达
融合智现未来行业垂直大模型“灵犀”，智能诊断设备原因。综合分析配方/设备常数/设备变更记录等多方面数据，从而快速、精准定位设备问题的根源。
⑤ AI Assistant：设备“百事通”，比设备工程师更“懂”设备
融合智现未来200+行业场景、40TB半导体行业资料、专业论文知识、工程师工单/报告等打造的AI Assistant知识库服务，可实现故障解答、故障案例的快速召回显示、出处定位可视化、自动调取设备参数、设备故障排查与维修方案推荐等，极大提升了故障排查效率，比设备工程师更“懂”设备。
⑥ AI+EHM健康预测管理
结合历史数据与云计算能力、预测算法、大语言模型等技术手段，识别出非正常模式下的早期异常信号，提前精准预测故障，生成详尽的维护计划。这一举措改变了以往严重依赖老师傅经验、缺乏系统科学预判手段的局面，从“被动处理”到“自主防御”，大幅提升了设备故障的预防与处理能力，减少了因设备故障造成的生产中断。
More+
EqFuse还支持“设备监控-设备分析-设备预测-设备控制及智能监控-智能决策”全链条定制开发方案，为客户打造更智能、更稳定的半导体设备。
EqFuse，为设备厂商打造差异化竞争力
对设备厂商而言，EqFuse可不是简单的“软件加成”，而是能让设备在市场中脱颖而出的“制胜法宝”。
交付快一步，客户更满意
EqFuse显著增强设备的生产控制能力，实现实时监控与智能调优，大大节省设备在客户现场的安装和调优时间，加速交付流程，客户早投产，设备厂商口碑与复购率也能大幅提升。
装机即用，降低开发门槛
内置多种工程智能软件，设备厂商无需额外研发即可让设备实现“装机即用”的智能脑。相比传统设备，智能化属性让产品在竞标中更易脱颖而出。
从“硬件”到“方案”，利润空间再提升
打破“纯销售设备+客户后期采购软件”的旧模式，以“设备+内置智能系统”的整体方案切入市场，形成有利的差异化竞争优势，凭借高附加值软件服务提升盈利空间。
从追求“局部最优”到“全局最优”，生产效能再升级
以往设备优化可能局限于单一环节，比如只专注腔室匹配或者只盯故障监测。而 EqFuse能打通“设备监控-设备分析-设备预测-设备控制及智能监控-智能决策”运行全流程，做到“全局最优”，帮助客户实现生产效能的系统性提升。
数据驱动决策，设备因智而强——这是智现未来对EqFuse工具的研发初衷。我们希望通过EqFuse设备智能系列，让每一台设备都拥有“可对话、会思考、能优化”的智能脑，实现设备性能的“全局最优”；更希望以此为支点，助力设备厂商客户以“设备+软件”的创新模式突破竞争壁垒，在半导体设备智能化的浪潮里筑牢核心优势。
