天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司“定盘沟槽清洁装置、清洁方法和研磨设备”专利公布，申请公布日为2025年3月14日，申请公布号为CN119609919A。
本发明涉及一种定盘沟槽清洁装置、清洁方法和研磨设备，定盘沟槽清洁装置包括：支撑架，支撑架的轴向方向上的顶端设置弧形滑轨，弧形滑轨所在的平面与支撑架的轴向方向相垂直；支撑臂，支撑臂的一端通过滑块可移动的连接于弧形滑轨上，支撑臂的另一端向远离弧形滑轨的方向延伸设置，支撑臂的延伸方向与弧形滑轨所在的平面相平行，支撑臂的外周面上设置直线型滑轨，直线型滑轨的延伸方向与支撑臂的延伸方向相平行；刮刀，可移动的设置于直线型滑轨上；第一控制结构，用于控制支撑臂沿着弧形滑轨滑动，以使得刮刀的位置与定盘上待清洁沟槽的位置相对应；第二控制结构，用于控制刮刀沿着直线型滑轨移动，以对定盘上待清洁沟槽进行清洁。
