宇电温控科技:温控“小巨人”助力半导体产业自主可控“芯”未来

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2025第九届集微半导体大会于7月3日—5日在上海张江科学会堂盛大举行,本次活动汇聚半导体产业链上下游“产学研用”行业精英、资本巨头与专家学者,共话中国“芯”未来。

在7月4日举办的第三届集微半导体制造峰会暨产业链突破奖颁奖典礼上,宇电温控科技总裁助理田龙带来《精密温度控制技术在半导体行业的应用与价值体现》精彩演讲,其从精密温控器在半导体领域的重要性,宇电温控科技在半导体领域的发展历程、核心技术、产品竞争优势、合作客户及规模出货等维度,深入剖析了半导体领域精密温控国产化历程、发展现状,并展望了未来自主可控的发展蓝图。

温控器:半导体制造中的“小巨人”

温控器虽看似普通,却在国民经济的众多领域发挥着关键作用,从传统工业的注塑机、电炉等热工设备,到医疗设备中的PCR基因扩增仪器,以及高端的半导体设备,如光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、热处理、CMP、清洗、检测/量测等前道工艺,固晶、塑封、测试、分选、探针、老化测试、烘箱、键合等后道工艺等,都离不开温控设备的精准调控。

在半导体领域,虽然温控器占设备成本不足1%,却能撬动几十倍,甚至上百倍的巨大价值。以扩散工艺为例,若温度控制不佳,将直接影响薄膜的均匀性、杂质分布的均匀性,进而影响最终产品的良率和性能。从安全层面看,温控器的精准控制能避免设备故障甚至安全事故的发生。此外,良好的温控还能显著降低能耗成本。

宇电温控科技成立于1991年,公司35年来只做一件事:始终专注于温控技术及产品的研发与创新。

据田龙介绍,公司拥有丰富的温控产品线,包括导轨型多路温控器、盘装型单路温控器、大屏温控器、耐高温多路温度采集模块等等,测量精度最高可达0.05级,满足不同场景的需求。作为国家高新技术企业及专精特新“小巨人”企业,2023年宇电温控科技全球出货量超越了竞争对手,位居行业第一。公司参与了50多项国家标准的制定,拥有6万平方米的厂房,年规划产能达1000万台。

精密温控:技术领先背后的创新密码

多年来,宇电温控科技不断实现技术突破。1991年国内首创PID自整定技术及推出XCC系列可编程输入输出智能温控仪;1998年率先推出带自我优化功能的温控器,并首创可拔插模块化结构仪表,使小批量多品种的仪表生产大为简化;2006年建筑面积达1万平方米的宇电科技大厦正式投入使用;2012年推出4路PID温度控制器被科学技术部等四大权威部门评为“国家重点新产品”称号,引领行业发展。2014年首创推出7寸触摸屏操作方式的智能温控器/调节器,公司成为工业软件领域的国家重点软件企业。

2022年,宇电温控科技在高端温控器领域对进口产品实现技术超越,同时在光伏行业实现大面积覆盖;2024年在深圳设立4000平方米的办公用地,打造华南区域技术研发及客户服务中心。2025年,公司在半导体设备领域取得大批量突破,与众多半导体头部客户达成深度合作。

据记者了解,宇电温控科技是国内唯一进入半导体设备领域的国产品牌,在光伏行业的市占率位居第一。公司的客户群体涵盖半导体、光伏、锂电池各领域的龙头企业,如北方华创、微导、比亚迪、宁德时代、捷佳伟创等,同时与众多985高校、科研院所建立了长期合作关系。

在技术创新方面,宇电温控科技的算法优势尤为突出。其自创的串级控制自动定标自适应技术,通过自动定标功能,极大简化了调试流程,降低了工程师的使用门槛。与传统海外品牌相比,公司的产品在精度、稳定性、抗干扰能力等核心指标上均处于行业领先水平。在实际应用中,公司的温控器能够实现精准测量、稳定控制,满足客户对温度控制的严格要求,同时在能耗方面表现出色,为客户带来显著的成本节约。

在原材料供应方面,宇电专业定制了高性能24BIT定制A/D芯片,田龙表示,“过去公司采用别人的芯片,那么算法、硬件设计就要去适配芯片,而定制芯片后,我们可以让芯片去适配公司的硬件、算法。”

软硬件的同步加持,让宇电的产品性能在行业领先于同行,最高测量精度(0.05级)、高分辨率测量能力(0.001℃)、最快采样速度(20ms)、最高控温精度(0.002℃)、50Hz抗干扰性能(120dB)、低温漂(<25ppm/℃)等主要技术指标均达到行业顶尖水平。

据田龙介绍,要实现如上高性能指标,既要求宇电温控科技在硬件设计上进行保障,又要对软件算法进行创新突破,而宇电温控科技自研的高精度仪表具有精准测量、稳定控制的特点,温漂更低,有效降低设备的运行温度,直观实现节能降耗。

可靠性方面,田龙直接用两个案例进行佐证,一是宇电温控科技于2019~2023年间累计向国内某头部锂电池厂家发货5.7万台四路温控器,至2024年1~10月仅收到返修仪表7台,5年累计仅收到40台返修仪表,累计返修率0.07%。

二是宇电温控科技于2022~2023年间累计向国内某头部光伏设备商发货25万台串级温控

器,至今累计收到返修仪表仅34台,累计返修率0.014%,表现出极强的稳定可靠性。

介绍中,田龙进一步以AI-8848型号前道设备用温控器与多个美资、日资同类竞品进行参数比较,发现该设备在采样速度、测量精度、控制周期、整机功耗、显示分辨率、温漂、通道间隔离耐压、额定工作温度等多个指标领域实现领先。

案例实践:优秀表现下的三大价值守护

接着田龙通过多个实际案例来进一步说明宇电温控科技精密温控产品的先进性以及在半导体领域的完美适用能力。

在碳化硅衬底生长过程中,设备在宇电温控科技温控器控制下,实际升温过程与温度设定曲线高度贴合;在恒温阶段,设备能够精准控制2200℃的高温,且温度波动≤±0.5℃,满足客户对温度稳定性的严格要求。

在前道湿法工艺中,宇电温控科技的产品在升温、恒温阶段表现出色,其中升温阶段平均用时<45秒,恒温阶段平均温差控制在<0.016℃的极小范围内,显著提升了生产效率。

在前道核心设备高温腔室金属底座的对比测试中,与海外品牌产品相比,宇电温控科技产品在低温、高温切换过程中,温差控制更优,回温速度更快,展现了强大的技术实力。

据记者了解,宇电温控科技在半导体前道设备中的应用主要集中在高精度、多功能的精密温控上,产品支持多种输入输出方式,满足不同客户的需求,不仅性能卓越,还具有高度集成的特点,能够实现多通道采集和集中控制,满足复杂工艺的精密制造要求。

除了与同类竞品对比,田龙还将宇电温控科技的温控器产品与PLC进行比较,各项测试指标显示,“宇电温控器超欠调和恒温测试结果全面优于PLC”。

凭借专业的技术、优质的产品和高效的服务,宇电温控科技的温控器在半导体行业客户端的实际应用中,展现了出色的性能和稳定性,同时也赢得了客户的高度认可。

田龙总结认为,宇电温控科技的温控技术及产品在半导体产业中的价值主要体现在三个方面:一是通过精准的温度控制,提高产品的生产效率、良率和性能;二是从原材料到产品质量的严格把控,确保供应链的安全和产品的可靠性;三是通过优化的控制算法和高效的能耗管理,为客户节省运营成本。

演讲最后,田龙表示,宇电温控科技35年来专注于温控技术,以创新为驱动,以客户为中心,致力于为半导体产业提供最优质的产品和服务。公司相信,通过持续的技术创新和不懈的努力,宇电温控科技将在半导体温控领域创造更多的价值,助力产业的发展。

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