华特气体:目前有2个产品进入5nm先进制程工艺应用

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7月4日,华特气体在互动平台表示,公司目前有2个产品进入到5nm先进制程工艺应用。

华特气体是一家专注于特种气体国产化的高新技术企业,公司主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心,辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务,提供气体一站式综合应用解决方案,是率先打破极大规模集成电路、新型显示面板、高端装备制造、新能源等尖端领域气体材料进口制约的气体厂商。

目前,华特气体的下游客户覆盖中芯国际、长江存储、华虹宏力、华润微、SAMSUNG、SKHynix、TSMC等全球领先客户,特种气体品种数和收入居于国内气体公司前列;产品覆盖国内90%以上的8-12寸芯片制造企业;公司超55个产品可供半导体厂应用,并且公司的部分氟碳类产品、氢化物已进入到5nm的先进制程工艺中应用并不断扩大覆盖范围。

责编: 邓文标
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