天眼查显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司近日取得一项名为“电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备”的专利，授权公告号为CN117011405B，授权公告日为2025年3月14日，申请日为2023年6月28日。
本申请提供一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备，包括：获取基准方向上的扫描图像；根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型；基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。本申请的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备解决了电子束扫描成像过程中由于振动或噪声等信号干扰导致图像质量下降的问题，提升了图像分辨率，降低了图像定位偏差。
