华海清科“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”专利获授权

作者：爱集微 13小时前

来源：爱集微 #华海清科#

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天眼查显示，华海清科股份有限公司近日取得一项名为“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”的专利，授权公告号为CN116423378B，授权公告日为2025年3月14日，申请日为2023年4月17日。

本发明公开了一种金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备，方法包括：抛光过程中，获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn；利用此时的膜厚传感器温度tsn和自身温漂函数，计算传感器温漂补偿量ΔSsn；利用此时的晶圆温度twn、第n‑1次测定的膜厚dn‑1以及晶圆温度补偿函数，计算晶圆温漂补偿量ΔSwn；计算补偿后的输出量Sn′，Sn′＝Sn‑ΔSsn‑ΔSwn；根据传感器输出函数以及所述补偿后的输出量Sn′得到第n次测定的膜厚dn。