天眼查显示，上海芯密科技股份有限公司近日取得一项名为“一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用”的专利，授权公告号为CN117777941B，授权公告日为2025年3月14日，申请日为2023年11月22日。
本发明涉及半导体材料技术领域，特别是涉及一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用。所述密封胶的主要原料为有机硅，还可以包括改性的纳米二氧化硅、其他填料。本发明操作工艺方便，适用范围广，只要厚度小于2mm的任意形状的缝隙均适用。同时该密封胶的抗腐蚀性更加优异，降低了静电吸盘的维护成本，同时延长其使用寿命。
