全球最大的芯片代工制造商台积电高管表示，该公司仍在评估何时将ASML先进的高数值孔径（High-NA）光刻机应用于其未来的工艺节点。
芯片制造商正在权衡，这些价值近4亿美元的光刻机在速度和精度方面的优势，何时才能弥补其几乎翻倍的价格，而这台设备本身就是芯片制造厂中最昂贵的设备。
当被问及台积电是否计划将该光刻机用于即将推出的A14（1.4nm）以及未来节点的增强版时，台积电业务发展高级副总裁张晓强（Kevin Zhang）表示，公司尚未找到令人信服的理由。
张晓强表示：“我所说的A14增强版，即使不使用High-NA，其性能也非常显著。因此，我们的技术团队正在继续探索如何利用微缩优势来延长现有（Low-NA EUV光刻机）的使用寿命。只要他们继续找到办法，我们就不必使用它。”
去年，张晓强曾表示，台积电不会在其A16（1.6nm）节点上使用High-NA EUV光刻机，并补充说他不喜欢它的标价。
英特尔计划在其未来的制造工艺（即Intel 14A工艺）中使用High-NA EUV光刻机，以重振其代工芯片业务，并更好地与台积电竞争。不过，英特尔也表示，客户仍然可以选择使用更旧、更成熟的技术。
到目前为止，ASML已向全球三家客户（英特尔、台积电和三星）发货五台重达180吨的双层大小的High-NA光刻机。
ASML总裁兼首席执行官傅恪礼（Christophe Fouquet）表示，预计客户将在2026-2027年期间测试High-NA光刻机的大批量生产准备情况，然后在后期在其最先进的节点上评估该设备。
傅恪礼此前表示，AI仍带来强劲需求，过去几个季度中，AI是行业推动行业增长的核心驱动力，“2025年以及明年的部分需求已经稳定下来，基于与客户的沟通情况，我们预计2025年和2026年都将是增长年。然而，近期公布的关税政策加大了宏观环境的不确定性，目前尚无法量化评估关税政策的影响。综合关税及其他不确定因素，ASML仍预计全年毛利率将在51%-53%之间。”ASML确信，到2030年，预计全年净销售额在440亿~600亿欧元之间，毛利率介于56%~60%。
（校对/赵月）
