中科飞测“检测设备和检测方法”专利获授权

作者：爱集微 05-16 15:44

来源：爱集微 #中科飞测#

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天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司近日取得一项名为“检测设备和检测方法”的专利，授权公告号为CN114234835B，授权公告日为2025年3月14日，申请日为2020年9月9日。

本发明实施例提供一种检测设备和检测方法，用于进行扫描检测，所述检测设备包括：照明光源，用于提供照明光；物镜，用于使所述照明光投射至检测面，还用于对检测面成像，所述物镜的光轴在所述检测面的投影为检测点；聚焦装置，用于在所述检测面上确定测量点，所述测量点相对于所述检测点沿扫描方向具有一偏移量；还用于根据测量点对应的检测面位置，调整物镜进行聚焦；探测装置，用于探测物镜收集的所述照明光。本发明实施例能优化聚焦性能，提高成像质量。