天眼查显示，上海果纳半导体技术有限公司近日取得一项名为“天车系统及其控制方法”的专利，授权公告号为CN119361496B，授权公告日为2025年3月14日，申请日为2024年12月14日。
本发明公开了一种天车系统及其控制方法，天车系统包括轨道组件、存储组件、天车组件，轨道组件包括并行设置的第一轨道、第二轨道，其中，第二轨道一一对应设置在工艺机台的上方；存储组件包括与工艺机台一一对应设置的存储架，每一存储架均靠近对应的工艺机台布设并位于第一轨道的下方；天车组件包括第一天车、第二天车，第一天车位于第一轨道上，用以晶圆盒在不同的存储架之间的流转；第二天车位于第二轨道上，用以晶圆盒在对应的工艺机台与存储架之间的流转。本发明能有效解决因天车响应不及时导致的工艺机台等待时间较长的问题。
