中科飞测“一种承载装置”专利公布

作者：爱集微 04-21 07:13

来源：爱集微 #中科飞测#

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天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司“一种承载装置”专利公布，申请公布日为2025年3月7日，申请公布号为 CN119581386A。

本发明公开了一种承载装置。将用于吸附工件的承载盘设置成中心区和边缘区，并通过在承载盘的周侧设置外部辅助气路，并使外部辅助气路中的一组气路连通至中心区，以及一组气路连通至边缘区。通过上述公开的承载装置，工作人员可根据工件的尺寸和类型，通过控制不同气路为承载盘提供不同吸附力，以满实现对不同尺寸和类型的工件固定。