天眼查显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司“一种介电质窗口及半导体设备”专利公布，申请公布日为2025年3月7日，申请公布号为CN119581304A。
本发明提供了一种介电质窗口及半导体设备，包括：介电质层，所述介电质层包括贯穿所述介电质层的开孔；第一加热组件，所述第一加热组件嵌入所述介电质层内，且所述第一加热组件环绕所述开孔设置。本发明提供的技术方案，将第一加热组件嵌入在介电质层内部，进而在对第一加热组件进行上电后，控制介电质层自内向外加热，不仅能够提高对介电质窗口的加热效率，而且通过将第一加热组件呈环绕开孔设置，能够显著改善介电质窗口表面的温度分布均匀性，从而在提高了等离子体刻蚀工艺的稳定性的同时，还避免了对介电质窗口加热不均匀所引起的对反应腔造成颗粒污染和微量元素污染的问题。
