天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司“一种抛光垫的表面监测装置及方法”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119526256A。
本公开实施例公开了一种抛光垫的表面监测装置及方法，抛光垫的表面监测装置可以包括图像采集机构和控制器，图像采集机构通过支撑组件固定于抛光头上，用于在CMP过程中实时采集抛光垫的表面图像。表面图像被传送至控制器，控制器利用图像识别技术对采集到的图像进行分析，以确定抛光垫的表面状态。
奕斯伟“一种抛光垫的表面监测装置及方法”专利公布
来源：爱集微
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